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机译:硅片上等离子体增强化学气相沉积氧化硅膜的微桥测试
Cao, ZQ; Zhang, TY; Zhang, X;
机译:沉积在硅片上的氧化硅/氮化硅双层薄膜的微桥测试
机译:沉积在硅晶片上的氮化硅薄膜的微桥测试
机译:等离子体增强化学气相沉积氧化硅膜的微桥纳米压痕测试
机译:将等离子体增强化学气相沉积的氮化硅薄膜建模为有限的几何形状
机译:在热生长的二氧化硅上沉积纳米柱优先取向的PSZT薄膜
机译:通过等离子体增强化学气相沉积制备的富硅氧化膜的可调发射
机译:使用乙硅烷作为硅前体的氧化硅膜和氟化氧化硅膜的低温等离子体增强化学气相沉积
机译:刻蚀硅晶片表面氧化物膜的方法,用氧化物膜对硅晶片的金属污染分析方法以及用氧化物膜制造硅晶片的方法
机译:精加工方式,硅晶片的无味硅晶片生产方式,硅晶片的氧化膜形成方式和氧化硅晶片生产方式,将氧活性属气氛形成装置的气体排出,
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